반도체 공장 미진동 검토
프로젝트 개요
- 반도체 공장 신축
- 공장 운영시 설비에서 발생되는 진동이 정밀장비 설치 구간에 대한 미진동 검토
- 정밀장비 허용 기준 비교 후 초과시 방진대책 적용
- 방진대책-HD-MAT-50T 및 제진대를 이용한 방진
- 방진 대책 후 진동 권장기준 만족
3D Modeling
현황예측
미진동 해석결과 비교
방진대책
CASE1 - 댐핑 매트를 이용한 방진대책
CASE1 - Air-Spring Mount 설치를 통한 제진 System
